电容膜片真空计
SKY 电容膜片真空计真空计
SKY 电容膜片真空计
CDG025D, CDG025D-S 0.1 ...1000 乇/毫巴
INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命. 独特的传感器屏蔽 (专利申请) 保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和 数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准.
优势
全量程范围从100毫乇 … 1000乇 加电源后快速稳定性 从大气压的快速恢复性 抗腐蚀的陶瓷传感器 卓越的长期讯号稳定性 温度补偿
传感器有防污染保护 一键调零功能 宽范围电源 两个设点 (可选)
RS232 接口 (可选)
应用
半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 数据贮存和显示器制造设备 工业真空设备
一般高精度压强测量
真空控制产品目录 2014 – 2015 | A25
真空计SKY 电容膜片真空计
CDG025D, CDG025D-S (续)
CDG025D, 温度补偿型 全量程范围 法兰 型号
CDG025D, with 2 设点 and RS232 接口, 温度补偿型 全量程范围 1法兰 型号
粗体 = 标准产品
其它法兰型号和全量程范围按用户要求
A26 | 真空控制产品目录 2014 – 2015
SKY 电容膜片真空计真空计
CDG025D, CDG025D-S (续
)
1) 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应. 2) 增大 10 … 90% F.S.3) 未运行
4) 仅 CDG025D-S
5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe
6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
真空控制产品目录 2014 – 2015 | A27
真空计SKY 电容膜片真空计
CDG025D, CDG025D-S (续
)
1) 在25°C环境工作温度下运行两小时后无非线性,滞后性,再现性的温度效应. 2) 增大 10 … 90% F.S.
更多有关技术规范的内容, 见上表.
毫米(吋)
A28 | 真空控制产品目录 2014 – 2015TIBA33E1-E